一、低濃度廢氣處理工藝說明：
廢氣經集氣罩收集起來，然后進入UV光解除臭設備，經紫外光催化處理后，再進入低溫等離子設備處理，最后經排氣筒高空排放。
光催化反應區，253.7nm波段的紫外線首先對廢氣中污染物質的分子鏈進行破壞分解，將其大分子結構打碎變成小分子結構，185nm波段的紫外線使空氣中的氧分子產生的游離態的氧，游離氧因正負電子不平衡需與氧分子結合，進而產生臭氧。從而提高后段低溫等離子處理效果。
低溫等離子體反應區，等離子通電后會形成一個1.5萬伏的高壓電場，廢氣在進入的時候被電離，分子鍵斷裂，廢氣分子被分解成高能電子和小分子。氧氣被電離成游離態的氧，游離氧所攜帶的正負電子不平衡，很容易與氧氣結合形成臭氧。臭氧將打碎的惡臭氣體分子氧化成CO2和H2O等無機物。
二、低濃度廢氣處理工藝流程：
 低濃度廢氣→集氣罩→風管→UV光催化除臭設備→低溫等離子設備→離心風機→達標排放

三、等離子廢氣凈化器性能特點
1、科技含量高，引進國外先進技術。
2、模塊設計、靈活簡便，安裝簡單，占地面積小。
3 、放電強度大，產生高能等離子體密度大。
4 、聯合等離子體中光子的協同作用較傳統的電暈放電和DDBD，更加高效的降解廢氣。
5、空氣阻力小，減少壓降損失。耗電量小。
6、適用于多數的惡臭廢氣和有機廢氣，降解率高。
7、電極不與處理廢氣直接接觸，使用壽命長。
8、不宜用于高溫高濕度的氣體，大風量情況下不建議使用。
等離子有機廢氣凈化器是一種新型高端的干法處理有機廢氣的凈化設備，它改變了使用活性炭材料的工藝技術，無需再生處理原料，無需專人負責，無產生二次污染，更換及維護保養方便，運行成本低廉，是有機廢氣治理最先進的一項技術。